FCVD設(shè)備

德國(guó)ARNODLD自光纖發(fā)展以來(lái)總是提供MCVD和PCVD基礎(chǔ)車床,比如: SEL, Stuttgart; IPHT; Philips, Eindhoven; Schott, Mainz; 從事獨(dú)立研發(fā)過(guò)程,2005年收購(gòu)HEATHWAY公司，并與LOGITEX公司合作，我們現(xiàn)在可為研發(fā)過(guò)程提供完整的不銹鋼氣柜系統(tǒng)和光纖拉絲塔。
通用玻璃車床，自動(dòng)化氣體供應(yīng)和混合系統(tǒng)，Restoxyd室控制內(nèi)部壓力，MCVD車床上可安裝的感應(yīng)電爐，成為FCVD設(shè)備系統(tǒng)

感應(yīng)電爐移動(dòng)架。
MCVD系統(tǒng)用的噴燈可通過(guò)快速接頭拆卸，感應(yīng)電爐移動(dòng)架可方便將感應(yīng)電爐移入設(shè)備中間安裝位置。成為FCVD設(shè)備系統(tǒng)。

MFC質(zhì)量流量計(jì)規(guī)格:
數(shù)字ProfiBus MFC
典型精度:   ±1%，設(shè)定點(diǎn)為20~100% 滿量程　
典型精度:   ±0.2%，為2~２0% 滿量程
重復(fù)性：    ± 0.3% 讀數(shù)
分辨率：  0.1%滿量程
工作溫度： 10°C ~ 50°C (環(huán)境)

中氣體濃度測(cè)量系統(tǒng)： (另選）
3個(gè)“Lorex” 氣體傳感器，測(cè)量SiCl4, GeCL4, POCl3液氣摻雜物。
通常我們測(cè)量重量：xx mg/min 液氣（PoCl3, GeCl3, SiCl4)在載氣（氧氣）中重量。但你也可以計(jì)算體積和百分比。
氣體濃度傳感器/輸送控制系統(tǒng) 可重現(xiàn)蒸氣輸送控制的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。氣體濃度傳感器已成為半導(dǎo)體制造行業(yè)的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，可用于在 CVD 和 MOCVD 工藝流程中，高精度監(jiān)控前體化學(xué)蒸氣和摻雜氣體，從而實(shí)現(xiàn)可重現(xiàn)的輸送控制。經(jīng)生產(chǎn)驗(yàn)證該系統(tǒng)能為您提供：通過(guò)嚴(yán)格控制制程氣體和前體化學(xué)蒸氣的輸送，提高工藝的可重現(xiàn)性和良率。通過(guò)更高效地利用前體化學(xué)品、更充分地利用前體化學(xué)源、降低氣體流向排氣口的時(shí)間，從而降低工序成本。通過(guò)獲取設(shè)備和工藝工程師可直接讀取的定量信息，設(shè)備間的匹配更為簡(jiǎn)便。通過(guò)內(nèi)置診斷工具，為氣體和蒸氣輸送系統(tǒng)的故障排除提供幫助。
氣體濃度測(cè)量系統(tǒng)
改進(jìn)過(guò)程重復(fù)性
增加產(chǎn)量
低成本操作
使得工具-工具匹配方便
方便錯(cuò)誤診斷，優(yōu)化氣體傳送系統(tǒng)